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加速度计

MEMS加速度计压阻式PR7110A

7110A是一款全桥结构设计的压阻式MEMS加速度计,敏感元件是精密加工的MEMS芯片,一整块单晶硅通过刻蚀成型技术,在狭小空间内形成一个全桥电路。

MEMS加速度计压阻式PR7111A

7111A是一款全桥结构设计的压阻式MEMS加速度计,敏感元件是精密加工的MEMS芯片,利用一整块单晶硅通过刻蚀成型技术加工而成,包含惯性质量